静电对策实施手册1

'静电对策实施手册ESD-01J制定实施规定番号1.适用范围本手册适用于MEC川越事业所以及、协力工厂、海外据点生产半导体部品、光学PU、半完成品的所有部门。2.目的此规定的冃的是：明确MEC川越事业所生产部所管辖的生产据点的静电对策基准，谋求预防劣化的产生、提高生产工程、市场的品质。3.《相关规定》静电对策管理规定［AES-A004］（全社规定）静电对策管理标准［全社规定］符号修改年月H实施年月H修改内容•••••• PIONEER作成宫沢起案■宫沢.确认承认 讲习会资料实施手册内容1.地线效果、电源供给方面（AC插座）的确认2.接地工程的确认3.除电对策的实施4人体除电对策、静电手环的着用5.人体除电对策、导电鞋、导电胶皮垫子的测量方法6.机器、设备的接地对策7.治具、周围、环境的除电对策8・标识的实施9.对策的维持管理10・参考IEC6134051、5-2 1•地线接地效果、电源供给方（AC插座）的确认1•使用测定器AC电压计（万用表）1.1电源插座部的动作确认在接电源插座前，请确认下图所示的电位1•2地线接地部的效果确认（利用AC插朋部确认的方法）在生产现场确认地线接地效果的方法如下所示确认AC插座和下图所示的测定点的电1.3测定判定的结果测定点测定内容测定值、允许范围a）测定场所1电源供给电压确认AC100V（允许范围+7〜5%）b）测定场所2电源供给、电压、极性、以及地线效果的确》+端子、一地线端子间的电压AC100V（+7〜5%）c）测定场所34,3-2电源供给、电压、极性、以及地线效果的确》端了、一地线端了间的电压测ACOVC允许范围5V以下）超出允许范围时的对应有不满足上记测定项目要求的地方要即时纠正原因可能有配错线，忘连接等，要防止机器出现异常动作和发生损坏，以及要重视保护人体在短时间内作出对策2.接地工程的确认所谓的接地，简单说來就是，以低电阻來将电力设备、通信设备和人地连接起來通电。 由于接地的目的很多，所以虽然要进行接地工程，但也要整理成以下几类。a）防止触电b）电位的均等化c）防止静电障碍d）避雷e）人地回路的利用f）抑制通信障碍在进行这些接地时，起到安装于人地的电气端了的作用的是接地的电极。1.1使用静电对策的接地工程接地电阻:100Q以下使用线材：地线的线皮是绿色，软铜线是2mnf（单线1.6mm以上）接地方法：D类的接地或电线的接地（从建筑结构物上接地）或者是避雷设备、建筑基准法所规定的钢筋混泥土的建筑物中的地线也可以。3.2制造现场等的接地电阻值的管理a）一般在静电对策部门的制造现场，所提到的设备等的地线接地，就是指：连接在制造生产线上配置的地线，就是接地工程。管理它的连接状态的是管理制造部门的接地电阻值；连接状态的确认方法就是请参照1.项的地线接地效果、电源供给方（AC电源）的确认。另外，接地电极的维持管理是设备部门的业务。b）一般，制造部门或者很多部门的地线，多半是象下图那样连接例责任管理部门（制造、各部门）（设备部门）分配电电、i安全接地制造线内的地线地线干线1接地极①制造部门、各部门的地线要连接在分电盘的地线干线电。②设备、治具，各相关机器要连接到地线上（地线干线）上记两个项目的管理是接地电阻的管理。换句话说，最好要确认插座部的极性和确认地线接地的效果。注意：接地的冃的不同，种类也会不同。上图的地线是以安全接地为冃的的一种接地法。在电气设备屮，防止触电和火灾等是接地的主要目的，而不是ESD对策，目前只要理解它的接地是没有问题的一种接法。电源是200伏的生产线的地线有脉冲性质的杂波，使用吋用100伏的生产线的。使用耐性很差的半导体机器时，推存使用埋设有ESD接地极的，且接地电阻是10Q以下的是最好的。2.3ESD对策接地极效果（接地电阻值）确认ESD对策用的的接地极的电阻值，一般认为一般需要D类接地工程（100Q以下） 半导体机器的耐电压值低时，一般认为进行A类接地工程（10Q以下）是比较理想的。判断接地极的效果时，需要专用的测定器，它是接地电阻计。据各测定器厂家说，接地电阻计种类多种多样。下而介绍一种有代表性的例子。O3电极式的接地电阻计测定范围0~1000Q（与A~D类接地工程的测定相对应）虽然是测量精度很准的基准测左器，但是实际测量时，也会出现很难测量的问题※町除了要测的接地极以外，另外2个辅助电极也要打入地面。最近，由于都市化进程的推进，，常常发生辅助电极不能打进地面而造成电阻值测不出来（大地表面被沥青、混泥土覆盖而很难测出來）b）作业、测定后的收拾等需要作业时间的机器。O简易型接地电阻下记物品不要打入辅助电极，可简单迅速地测出D类接地工程的电阻值。测泄范围20-500Q（能测出ESD对策需要的电阻值）只要接2根引线就能测出來测定方法简单、只要测一-个地方，只要花10分钟就能测出接地电阻值EARTH和被接地极的连接2.RETURN端了和返回引线的连接 附属的引线没冇从地面上浮起的状态可直线延仲（约20m）2.4实施定期检杳在各生产据点，必须进行定期检查。接地工程的责任部门要证明有实施ESD对策所需耍的接地电阻值确认频度1年/I次 3•除电对策的实施在材料的保管场所、作业台、作业现场，作为实施下列的静电对策的实丿施方法，要使它的表面导电后才实施静电对策。3.1方法关于材料保管架，作业台、作业员的步行范围,要使用导电胶皮热了、导电性涂料、导电地板砖等的导电材料来实施除电对策O4.2实施例a）地面作业范围、步行范围耍铺上导电胶皮垫子胶皮垫子和胶皮垫子的连接要在背面的低电阻导电层一边装上电极來连通电用防静电胶布等固定，使设置状态安稳（为防止脱落而使用）使用例SF50（50mm宽）T-8（50mm宽）注意：不使用一•般的未对策站（绝缘性物站）b）辅位凳c）作业台・1在各段铺上导电胶皮報子、装上连接用的胶皮热子，连上地线木体的金属部分也要连接接地注意：地线的颜色要是绿色在各作业台的表而铺匕导电胶皮垫子，装上连接用的电极与地线连接作业台的金属部分也要连接接地左图的连接电极的颜色虽然使用的是黑色，但是市面上的销售品，因此可使用 3.3实施例c）作业台・2（SERU方式）要在各层铺上导电胶皮墩子接地。作业台的金属部分也要连接接地注意地线的颜色要是绿色e）高度矫正台的例子正确使用例在表面铺上一层导电胶皮垫子，连接地线接地完毕用导电胶皮垫子盖住表面。无地线、另外只接触到表面的高电阻导电层就没有除电效果f）材料架各层铺上导电胶皮垫子来接地货架的金属部分也要连接线材来接地g）由于使用导电涂料而使地面导电的实例由于金属部分要除电，所以耍接地。作为今后的推荐方法而展示的实例地面是用导电涂料处理作业范围作业台是用导电导管和导电轮导电了的台表面铺了导电胶皮垫子。注意导电轮有时不能满足所规定的电阻值,定位吋，要将地线接地。 3.4导电胶皮垫子的接地方法导电胶皮垫子由于接地从而发挥了除电效果；各胶皮垫子一定要在装上了连接用的电极后才能接地线。装在导电胶皮垫子上的电极一定要和背血的低电阻导电层（1MQ以下）连接。…高担2亢導電層（100MQ以下）7亢導電層（1MQ以下）.IM表面側±注意从高电阻导电层上连接，电阻值就会升高，就不会产生除电效果3.5将电极装到导电胶皮垫子上的间隔地线的连接根据胶皮垫子种类的不同而方法也有所不同，但是只要没有指示，一般都是每隔5m就装一个连接用的电极來连接地线。低电阻导电层3.6连接在导电胶皮垫子上的电极、方法5m間隔■■■a）3M制的连接用的电极电极、（从背面看）胶皮垫子表而、低电阻层上贯穿钩爪，弯折使它们接b）AKIRESU制的接续用电极c）凡用模具安装用的双面胶撕下保护贴片，贴在低电阻导电层一边在胶皮垫子背面、低电阻导电层面装上电极用固定PIN来安装（和引线连接用）在引线线头使用压线端了用同朮PIN方彷（和胁店热辛的i车榕需婆2个以卜） 利用凡用模具连接板的安装方法□表面（保护层）一般推荐3颗□□里侧（导电材低电层曲）■f固定PIN耍装2颗以上□部品式样1地线用的线材（带有圆形压线端子）1根固定PINL=9凹凸4（5）—•组内有锯齿的座金（弹片垫圈也可）1）准备地线圆形斥线端子作成手顺2）端子固定3）安装在连接板上4）用钉锤接合7）打孔10）合上固定PIN5）安装孔定位A8）将固定PIN装在孔里11）接合固足PIN（使用钉锤）固定PIN、垫圈固定PIN、垫圈6）记入安装孔9）反转胶皮垫子合上连接板12）反转胶皮垫子，外观检查注意胶皮垫子侧的固定PIN建议最少耍2个，一般要用3个固定PIN没有松为防止松掉建议使川垫圈 d）胶皮垫子和胶皮垫子时胶皮垫了②胶皮犁r®胶皮報r®左图铺有3张胶皮垫子实施方法关于胶皮垫了①要在低电阻导电层装I：专用电极和地线连接在胶皮堆子②③的低电阻导电层上装上胶皮堆子导电用的电极后再与地线接地.装电极的间隔为5m,和地线连接.e）胶皮垫子、胶皮垫子连接用端子（3M制）丿IJ连接川的端了使胶皮梨了和胶皮楚了之间导通注意胶皮梨了是间隔5m接地D胶皮垫子、胶皮垫子连接用的端子（AKIRE制）贴在胶皮垫子低电阻层连接板单体（还冇保护贴片的）g）胶皮垫子、胶皮垫子连接用的电极SUS带材用带状长、SUS制电极与低电阻导电层相接触使其导通注意使用时，注意接触不良建议将固定PIN结合 页数11/591导电胶皮的配线方法只冇按正确的方法进行配线才能发挥导电胶皮樂子的效果，即使断线也能控制在最小的受损的范围内。连接全长5m以下的导电胶皮垫子的场合正确的例子——各分支分开后的"I1•I线材静电胶皮垫子各电极连接在里rfri侧的导山，层即J◎各胶皮垫子上都有线材，与接地极相连接、发挥了胶皮热子的能力。◎即使一部分的线材断线个別的也能连接，所以爭故可控制在最小范围★连接导电胶皮垫子的线材是直列的，导电胶皮变成直列的，电阻值增加，能力会下降★如果中途线材断线，涉及的损害范围会扩大□连接全长是10m以下的胶皮垫了的场合理想的配线很闲难且问题点很多地面铺上很多胶皮垫子时的地线的接线如下图那样，用独立于各胶皮垫子的线材来连接.接线时由于接的线太多而导致要花很多时间。另外，连接点很多，容易发生作业错误，也增加了不安因素。综合这些来考虑，我们不能推荐使用这种方法。虽然是一种理想的配线，但是由于线材太多容易引发新的事故☆线材的接合部分很多，作业时间会变长.☆连接点很多，很可能会发生新的问题 页数12/59◊现实的地线配线方法不能进行理想的进行电极的配置和配线时，要考虑安全性、追加变更。连接线是以直列状态來进行配线，但是能保证安全性。理由在5m以下的范围内的几个电极接受备份的动作。配线例-1长度为10m以F的胶皮垫子SUS制橡皮筋宽为30mm以卜5m以下5m以F注意电极要接在里血的导电层认为［为确保安全性，要在各胶皮垫子上安装儿个电极］接地极中央部的线材很难装，作为对策将SUS制的橡皮朝觅皮为30mm以上的东西插入导电胶皮垫子背而的低电阻侧。长度为10m以下的胶皮垫子注意电极要接在屮:面的导屯层配线例・2将橡皮筋插入导电胶皮垫子的低电阻值侧接上电，以胶皮垫子的重量就不会使SUS制橡皮筋宽度为30mm以上的东西产牛偏移脱落的危险。 地线装在SUS制的橡皮筋上、或者热上端了板后再装。保持压线端子、固定PIN、垫圈等用的机械的连接强度、电的导通。 导电胶皮垫子和连接用的电极没有接触的例子页数13/594.7导电胶皮垫子、导电地板材等使用方而的注意导电胶皮垫子一定要和地线连接要定期清扫导电胶皮垫子的表面，使它上面无界物保持导通；另外使用垫圈等场合，般地板不使用，一定要把它作静电对策用（参照注记）连接川的电极要使川保持机械性的连接和电气性的连接（导通性）机能的东西。注记［地板、导电胶皮用的墩圈的推荐品口7工儿（株）名称工lx夕；^（防止带电仕上剂）使用面积：18L,约1200nf（涂1次）实际M:18L没有连接地线的实例例-1在显微镜的上面铺例・2导电胶皮垫子更叠铺没有连接地线里侧导电层侧二连接板侧在高电阻导电层的表面川小型端了连接地线的例了由于电阻值很高导致除电效果低对策在低电阻层的表曲用连接板导通除掉附在在作业现场的入口处设置的吸着片，鞋底，台车的轮子上的界物. 使用8小时后撕下附有污物的塑料片'